Ιστορικό Πελάτη
Μια εταιρεία κατασκευής ημιαγωγών χωρίς εργοστάσιο, η οποία αναθέτει την παραγωγή τσιπ προηγμένης τεχνολογίας. Το υπάρχον καθαρό δωμάτιό τους δεν μπορούσε να καλύψει τις αυστηρές απαιτήσεις δόνησης και καθαρότητας αέρα για λιθογραφία εμβάπτισης 193nm, προκαλώντας απώλειες στην απόδοση.
Ανάγκες & Προκλήσεις
· ISO Class 5 (Class 100) στην επιφάνεια του wafer.
· Στενός έλεγχος θερμοκρασίας: 22 ± 0.1°C σε ολόκληρο τον χώρο φωτολιθογραφίας.
· Σύντομος χρόνος διακοπής λειτουργίας: Μόνο 1 μήνας διαθέσιμος για ανακαίνιση του υπάρχοντος χώρου.
Λύση
· Σχεδιασμός μίνι-περιβάλλοντος: Απομόνωσε το stepper με μονάδες ανεμιστήρα-φίλτρου (FFU) συν χημικά φίλτρα για AMC. Επιτεύχθηκε ISO 4 εντός του περιβλήματος του εργαλείου.
· Ενεργή απομόνωση δονήσεων: Μπλοκ αδράνειας από σκυρόδεμα + πνευματικά μονωτικά για την κάλυψη των κριτηρίων VC-D.
· Σύστημα HVAC υψηλής ακρίβειας: Διπλοί βρόχοι ψυχρού νερού με επαναθέρμανση, συν τερματικά μεταβλητής παροχής αέρα (VAV). Η ομοιομορφία της θερμοκρασίας μετρήθηκε σε ±0.08°C.
· Προκατασκευασμένα πάνελ: Πάνελ από ανοξείδωτο χάλυβα κατασκευασμένα εκτός εργοταξίου με συνδέσεις cam-lock. Εγκαταστάθηκαν κατά τη διάρκεια προγραμματισμένης διακοπής συντήρησης – ολοκληρώθηκε σε 25 ημέρες.
![]()
![]()
Σχόλια Πελάτη
“Η Yaning κατανόησε τις απαιτήσεις του εργαλείου μας καλύτερα από άλλους εργολάβους καθαρών χώρων.”
— Διευθυντής Εγκαταστάσεων, Πελάτης Ημιαγωγών
Σύνοψη
Η Yaning ειδικεύεται στον τομέα της μηχανικής καθαρών χώρων. Αφοσιωνόμαστε στη δημιουργία καθαρών περιβαλλόντων παραγωγής που βελτιώνουν άμεσα την αποδοτικότητα της παραγωγής. Οι αρθρωτές λύσεις μας αποτελούν ιδανική επιλογή για ζώνες καθαρής παραγωγής στον κατασκευαστικό τομέα.